MKS電容薄膜規(guī)真空計(jì)維修 631D13T8FPBB故障維修
一、排氣口冒煙或者噴油
1、冒煙：若為泵開始運(yùn)轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象，屬正�，F(xiàn)象，若長時(shí)間冒煙則不正常。冒煙說明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門、容器有泄露真空的狀態(tài)存在。
2、噴油：進(jìn)氣口外有大量的漏點(diǎn)，甚至暴露大氣。封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，若不噴油，說明有漏點(diǎn)；檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片。
二、噪音
1、敲缸：不規(guī)律的響聲，似金屬敲打聲音�？赡転楸脙�(nèi)沒有油，或泵油進(jìn)入過多水氣，或泵內(nèi)油路不通造成。檢查泵油位是否正常；排出泵油，觀察油內(nèi)是否含有大量水，若含有大量水，請更換新油；拆開泵對泵的每一個(gè)模塊上的小孔用壓縮空氣吹掃。
2、排氣閥片噪音：排氣閥片破損。更換好的排氣閥片。
三、真空度下降
1、泵油的牌號(hào)和原先的不一樣：根據(jù)產(chǎn)品的型號(hào)規(guī)格更換正確的新真空泵油。
2、泵油乳化變色，或過臟：放干泵油，更換同類型泵油，將氣鎮(zhèn)閥調(diào)節(jié)至“II”檔位，泵運(yùn)行2-4小時(shí)，并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進(jìn)入泵內(nèi)。
3、被抽氣體的溫度可能過高：降低氣體溫度。
4、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量：檢查油路是否暢通，并加同類型真空泵油。
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